Uređaj za vakuumsko pumpanje plina HYKS-1000/300 SF6

Ova vakuumska pumpa je izravno{0}}spojena vakuumska pumpa s rotirajućim lopaticama. Sastoji se od rotora montiranog unutar statorske komore i dvije lopatice koje klize unutar utora rotora. Čvrsto pritisnute na stijenku cilindra silom opruge i centrifugalnom silom, dvije lopatice odvajaju unutarnji prostor na ulaznu i ispušnu stranu. Dok se rotor neprekidno okreće u fiksnom smjeru, komora na-strani ulaza ciklički se širi kako bi uvukla plin, dok se komora na-strani ispuha postupno skuplja kako bi se komprimirao-uvučeni plin. Komprimirani plin se zatim izbacuje kroz ispušni ventil, čime se postiže svrha odvoda plina. Ova pumpa ima dvo-stupanjsku strukturu. Kada je ulazni tlak relativno visok, oba stupnja istovremeno ispuštaju plin iz komore pumpe. Kada je ulazni tlak nizak, plin ulazi u stupanj visokog-tlaka kroz ulaz, teče u stupanj niskog{13}}tlaka kroz prolaz zraka među-stupnjevima nakon primarne kompresije i konačno se ispušta kroz ispušni ventil nakon sekundarne kompresije. Iz tog razloga, može isporučiti viši krajnji vakuum od jedno-stupanjskih pumpi.